ที่ปั๊มวัดแสงเป็นอุปกรณ์จ่ายสารเคมีแบบแทนที่เชิงบวกซึ่งมีความสามารถในการเปลี่ยนแปลงความจุด้วยตนเองหรือโดยอัตโนมัติตามเงื่อนไขของกระบวนการ
มอเตอร์ของปั๊มขับเคลื่อนลูกสูบเพื่อสร้างสุญญากาศที่จะดึงสารเคมีจากถังภายนอกเข้าไปในส่วนของเหลวของปั๊มสูบจ่าย
การสลับจังหวะของลูกสูบจะสร้างแรงดันที่ปิดวาล์วทางเข้า เปิดวาล์วทางออก และบังคับสารเคมีออกจากกระบวนการ
ภายในส่วนปลายของของเหลวจะมีไดอะแฟรมซึ่งทำหน้าที่เป็นตัวกั้นระหว่างลูกสูบและของไหลในกระบวนการ บางครั้งไดอะแฟรมจะเชื่อมต่อทางกลไกกับลูกสูบ บางครั้งไดอะแฟรมก็เชื่อมต่อกันด้วยระบบไฮดรอลิก
การเคลื่อนที่ในการปั๊มของลูกสูบถูกนำไปใช้กับน้ำมันไฮดรอลิก ซึ่งทำให้ไดอะแฟรมงอไปมาในขณะที่ลูกสูบเคลื่อนที่ไปกลับ การเคลื่อนที่ของลูกสูบทำให้ไดอะแฟรมโค้งงอ ยิ่งไดอะแฟรมโค้งงอมาก อัตราการไหลของปั๊มก็จะยิ่งสูงขึ้น สามารถควบคุมอัตราการไหลได้อย่างแม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่ากระบวนการได้รับสิ่งที่ต้องการโดยไม่ต้องฉีดมากเกินไปหรือน้อยเกินไป